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更新時間:2026-08-19
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布魯克91麻豆国产视频部門 朱性齊
為了找到測試銅箔樣品的更好的配置,這裏對Cu箔樣品在三種不同的配置下進行了嚐試:
1)第一種:線焦斑Cu靶BB幾何測試模式;
2)第二種:線焦斑Cu靶+GM鏡測試模式;
3)第三種:線焦斑Co靶BB幾何測試模式;
為了獲得相近的角度分辨率,第一種和第三種配置的發散狹峰均為1.0mm,第二種配置中的鏡子出口放置了0.2mm的出射狹縫。三種模式的測試結果如下圖1所示: 
▲圖1:黑色曲線是第一種模式的測試結果,紅色曲線是第二種模式的測試結果,藍色曲線是第三種模式的測試結果
圖1中三條XRD曲線的參數總結如下表1。
從表1數據可以看出,PB和SN效果更好的是第三種配置測試的結果。雖然第二種配置中PB的效果也不錯,但是衍射峰的相對強度發生了變化,與另兩種BB幾何測試的衍射峰的相對強度有偏離。
表1:三種模式測試銅箔樣品的結果統計:
為了更直觀地對比測試結果,三條曲線進行歸一化後的結果如圖2所示。從圖2中可以看出,在衍射峰的高值保持一致的情況下,第一種模式的背景高,第二種和第三種模式的背景都很低,並且第二種和第三種模式的背景強度基本一致。另外,第三種模式的背景波動幅度小,也就是說第三種模式的噪音低。由此可以看出測試Cu箔的更好的配置是第三種模式,即線焦斑Co靶BB幾何測試模式。

▲圖2:圖1中的三條曲線進行強度的歸一化後如圖2所示。為了更清晰地對比三條曲線的背景,圖2中的縱軸也采用的平方根的形式表示。
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